Das Waffenamt griff hierzu auf erbeutete französische Panzerfahrgestelle zurück, so z.B. auf Fahrgestelle des Panzers Hotchkiss H 35(f), Hotchkiss H 39(f), FCM 36 oder den Lorraine-Schlepper. Vereinzelt wurden auch polnische Fahrgestelle verwendet. Als Bewaffnung diente die 7,5-cm Pak 40. Diese Provisorien erhielten den Namen »Marder I«. Insgesamt gab es drei Abarten:
7.5cm Pak 40 auf FCM - 10 Stück
7.5cm Pak 40 auf H39 - 24 Stück
7.5cm Pak 40 auf Lorraine - 170 Stück

Gleichzeitig erging am 20. Dezember 1941 an die Firma Alkett der Auftrag, auch auf der Basis des Fahrgestells des Panzers 2 eine Panzerjäger-Notlösung zu entwickeln. Hierzu wurden zuerst die Fahrgestelle des als unbrauchbar erkannten Flammenwerferpanzers Panzer 2 (Flamm) umgebaut (ursprünglich Fahrgestelle des Panzers 2 Ausf. D). Die ausgebauten Türme wurden später zu Festungswaffen umgebaut und als Kuppeln verwendet. Auch in diese Fahrzeuge wurde hinter einen 14,5 mm starken Blechaufbau die 7,62-cm-Pak 36 montiert. Bedingt durch das Provisorium waren diese Fahrzeuge mit 2,6 m verhältnismäßig hoch. Die Feuerhöhe betrug 2,2 m, das Seitenrichtfeld 50°. In dem 11,5 t schweren Fahrzeug fanden vier Mann Besatzung Platz, außerdem 30 Schuß Munition und ein MG mit weiteren 800 Schuß zur Nahverteidigung. Außerdem wurden in diese Fahrzeuge auch russische 7,62-cm-Feldkanonen 296 eingebaut. Auch die Aufstellung einer 7,5-cm-Pak 40/2 war möglich. Diese Lösung erhielt den Namen »Marder II« (Sd.Kfz. 132) Nachdem 150 Exemplare bis zum 12. Mai 1942 ausgeliefert worden waren, wurde von Reichsminister Dr. Speer vorgetragen, aus der laufenden Produktion von Panzern zwei Fahrgestelle zu entnehmen und als Panzerjäger umzubauen. Nachdem der Einbau einer 5-cm-Pak 38 untersucht wurde, entschied man sich abschließend für die 7,5-cm-Pak 40/2 für dieses Fahrzeug. Das Geschütz mit Oberlafette war unter Verwendung einer neu angefertigten Unterlafette (Platte mit Zahnkranz) auf die Decke des Panzerkasten-Oberteils aufgesetzt und fest verschraubt. Die Geschützbedienung war von vorne und von den Seiten durch einen festen Panzeraufbau und durch einen schwenkbaren Geschützschild gesichert. Der Kampfraum blieb aber oben und hinten offen. Die Munition wurde auf dem Heck des Fahrzeuges in einem dreiteiligen, gepanzerten Munitionsraum mitgeführt, insgesamt konnten 37 Granaten transportiert werden. Der Seitenrichtbereich betrug von +32° bis -25°. Die Feuerhöhe betrug nur noch 1,94 m. Das Gewicht des Fahrzeuges betrug 10,8 t, am 15. Juni 1942 wurde das erste Fahrzeug ausgeliefert. Auch diese Fahrzeuge erhielten des Suggestivnamen »Marder II« (Sd.Kfz. 131).
Vom Marder II 132 wurden 150 Fahrzeug auf Basis des Flammpanzers Ausführung B gebaut (gleicher Fahrgestellnummernbereich 27101-27250 angegeben, nur 62 als Flammpanzer vollendet), dazu noch 52 der D-basierte Flammpanzer Ausf. A umgebaut.
Vom Marder II 131 wurden insgesamt 533 Fahrzeuge neu gebaut (Famo und Ursus) sowie ~130 ältere/beschädigte Panzer II umgebaut.

Da sich die deutschen Panzerabwehrwaffen im Kaliber 3,7-cm und 5-cm nach dem Auftreten des russischen T-34-Panzers endgültig als zu schwach erwiesen hatten, wurde von der Inspektion der Panzertruppe die Schaffung eines Panzerjägers als Selbstfahrlafette gefordert. Hierzu wurden erbeutete sowjetische 7,62-cm Feldkanonen und Panzerabwehrgeschütze auf dem Fahrgestell des Panzerkampfwagens 38(t) Ausf. G angebracht. Die so entstandene Waffe erhielt die Bezeichnung Panzerjäger 38" (Sd. Kfz. 139)"Marder III". Dabei kam die genietete Bauweise des Panzergehäuses den Umbaumaßnahmen entgegen. Nach Entfernen des Unterlafette wurde das Geschütz mit Oberlafette unter Verwendung eines neu gefertigten Unterbaus auf das Oberteil des Aufbaus aufgesetzt. Der Unterbau hatte die Form einer Brücke und war mit der Decke des Heckpanzers sowie mit dem Bugpanzer verbunden. Richt- und Ladeschütze waren nach vorne durch eine 14,5-mm und seitlich durch eine 10 mm dicke Panzerung geschützt. Diese Panzerung war SmK-sicher. Die Panzerwanne mit der Unterbringung des Fahrers und des Funkers blieben unverändert, ebenso das MG 37 (t). Insgesamt 30 Schuß für die 7,62-cm Pak und 1.200 Schuß für das MG wurden im Fahrzeug mitgeführt. Das Gefechtsgewicht stieg auf 10,8 t, die Höchstgeschwindigkeit betrug 42 km/h. Die 218 l mitgeführter Treibstoff reichten für 185 km Straßenfahrt. Die Feuerhöhe betrug 2.000 mm. Die 7,62-cm Pak 36 L/54 hatte eine Rohrlänge von 3.895 mm und war mit einer Mündungsbremse versehen. Durch den Umbau der Ladekammer konnte mit dem Geschütz auch die Munition der deutschen 7,5-cm Pak verschossen werden. Damit konnte auf 1.000 m Entfernung eine Panzerung von 94 mm durchschlagen werden. Der Seitenrichtbereich der Pak betrug 21° nach jeder Seite, der Höhenrichtbereich von -8 ° bis + 13°.
Die Fahrzeuge wurden ab dem 24. März 1942 bei der BMM AG in Prag produziert. Bis Oktober 1942 konnten 344 Panzerjäger 38 gefertigt werden, davon 176 auf dem Fahrgestell der Ausführung G. Weitere 19 dieser Fahrzeuge entstanden 1943 durch den Umbau reparaturbedürftiger Panzer von der Front. Die Bezeichnung "Panzerjäger 38" (Sd. Kfz. 139) wurde mit Führerbefehl vom 27. Februar 1944 durch den Suggestivnamen "Marder III" ergänzt.
Ab November 1942 wurde die Fertigung auf die deutsche 7,5-cm-Pak 40 umgestellt. Der erste Prototyp war im Juni 1942 fertig und zeigte gegenüber der 7,62-cm-Ausführung einen geänderten Schutz für die 7,5-cm-Pak 40. Das Geschütz mit Oberlafette (ohne Unterlafette) war unter Verwendung eines neu angefertigten Unterbaues im Fahrgestell des Panzerkampfwagens 38 (t) eingebaut worden. Die Geschützbedienung war weiterhin nach vorne und zu den Seiten durch einen festen Panzer und den schwenkbaren Geschützschild gesichert. Auch nach Oben waren diese Fahrzeuge nun teilweise mit Panzerplatten gesichert, während sie nach hinten immer noch offen waren. Die Besatzung bestand aus dem Richtschützen (zugleich Geschützführer), dem Ladeschützen und dem Fahrer. Das Gefechtsgewicht betrug 10,5 t. Mit seinem Treibstoff-Vorrat von 218 l war eine Fahrstrecke von 200 km auf der Straße möglich. Die Höchstgeschwindigkeit betrug 47 km/h.
Ab November 1942 wurden für die Fertigung Fahrgestelle der Ausführung H des Panzerkampfwagens 38(t) verwendet. Die Fertigung lief im Mai 1943 nach 242 produzierten Einheiten aus. Weitere 175 Selbstfahrlafetten wurden 1943 durch den Umbau beschädigter Panzerkampfwagen 38(t) gebaut. Insgesamt wurden von März 1942 bis Mai 1943 761 Panzerjäger 38 gebaut.
Im Mai 1943 erfolgte die Umstellung auf die M-Ausführung des Panzerjägers 38. Bereits seit Februar 1943 wurde die Geschützwagen-Ausführung auf Fahrgestell 38 (t) für das 15-cm sIG 33/1 gefertigt, welches nunmehr auch für die 7,5-cm Pak 40/3 zur Verfügung stand. Dabei war der Motor aus dem Heck des Fahrzeuges nach Vorne zum Wechselgetriebe verlegt worden, wodurch eine Unterbringung der Waffe im Heck möglich war. Dies führte dazu, dass zum einen der Zugang zum Kampfraum erleichtert wurde und dass zum anderen die Waffe einen niedrigeren Aufbau und damit auch eine niedrigere Silhouette bekam. Die Panzerung des Aufbaus war nun rundherum 10 mm dick. Für die 7,5-cm Pak wurden nun 27 Schuß Munition mitgeführt. Die Fahrzeuge erhielten die Nummer Sd.Kfz. 138 und wurden bis Mai 1944 mit einer Stückzahl von 975 Stück produziert. Längst war aus dem Provisorium des Jahres 1942 eine Standardwaffe der Panzerjäger geworden. Im Mai 1944 lief die Fertigung dann zu Gunsten des Jagdpanzer "Hetzer" (s. dort) aus.